TECHNOLOGY

MEMS Blade Solution

MEMS Blade Solution

2D MEMS Blade采用DRAM/NAND Memory及CIS、DC用探针卡制作,采用高精密MEMS Probe,安装Rh Tip,提供高性能的Electrical、Mechanical特性。
此外,显示器探针单元用Blade Pin,可应对30μm以上的Pitch。

Features

  • • 利用MEMS工艺制作高精密、高可靠性的MEMS Probe(全工序内在化)
  • • 通过实现Rh(铑)Probe Tip,提高电气和机械特性
  • • 根据要求规格、要求性能,可设计和制造定制型产品
  • • 通过CMP及3D AOI检查,实现Thickness精密度最高水平管理(±1μm以内管理)

Application

  • DRAM/NAND探针卡用MEMS Probe Pin、CIS、DC Probe、探针单元用MEMS Blade等